产品概述

 

　　金融界 2024 年 8 月 14 日消息，天眼查知识产权信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“用于激光直写光刻机的自动聚焦控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质“，公开号 CN7.5 ，申请日期为 2024 年 5 月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种用于激光直写光刻机的自动聚焦控制方法、曝光控制方法、光刻机和存储介质，用于激光直写光刻机的自动聚焦控制方法包括：获取当前时刻激光直写光刻机的物镜表面到待曝光版面的实际距离；根据实际距离和物镜处于焦面位置时物镜表面到待曝光版面的距离获得当前时刻的物镜的离焦量；根据当前时刻的物镜的离焦量和物镜的历史离焦量获得当前时刻的下一时刻的物镜的离焦量；以及根据当前时刻的下一时刻的物镜的离焦量调节物镜的位置。采用该方法可以避免激光直写光刻机在自动聚焦时延迟的问题，同时也能避免激光直写光刻机产生离焦的问题。

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